Vakuum G2 Motoren
Für optimale Genauigkeit und Wiederholbarkeit
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Displays
Mit Linearmotoren zu mehr Genauigkeit und Präzision
Die Herstellung von Bildschirmen erfolgt durch Applikationen, die hohe Massen bewegen können. Üblicherweise findet der Prozess in einer Vakuumumgebung statt, um eine Kontamination der Bildschirme zu verhindern. Insbesondere wenn das Vakuum die Leistung begrenzt, werden ein oder mehrere Motoren mit hohen Kraftdichten benötigt.
Die Zeit, die wir mit dem Betrachten eines elektronischen Bildschirms verbringen, ist beträchtlich. Fernsehgeräte, Smartphones und Computerbildschirme haben alle eines gemeinsam: Der Bildschirm ist in der Regel ein Flachbildschirm. Die Herstellung dieser Flachbildschirme ist aufgrund der hohen bewegten Masse eine Herausforderung und die Strukturierungsschritte des Bildschirms finden im Vakuum statt.
Die Bildschirme werden zahlreichen Behandlungen unterzogen, wie Lithographie, Ätzen, Bohren, Reinigen, Prüfen und Reparieren. Je nach den Anforderungen der Anwendung werden Eisenlose- oder Eisenkern Linearmotoren zur Positionierung verwendet. Einige der Behandlungsschritte finden in einer Vakuumumgebung statt. Für diese Schritte sind Vakuum-Linearmotoren am besten geeignet. Um die erforderliche Kraft zu erreichen und große Massen zu bewegen, können mehrere Linearmotoren gekoppelt werden.
Aufgrund des einzigartigen Designs der Tecnotion Vakuum-Linearmotoren und der Fertigung im Reinraum haben die Vakuummotoren eine minimale Ausgasung und optimale Sauberkeit. Alle Vakuummotoren erfüllen die Eigenschaften, die für die Herstellung von Bildschirmen unerlässlich sind. Die Kombination von Vakuummotoren mit einem hochwertigen vakuumtauglichen Encoder sorgt dafür, dass Genauigkeiten im Submikrometerbereich erreicht werden können.
Außenaufstellung
Bei einigen Anwendungen ist es sinnvoll, vakuumtaugliche Eisenkern-Magnetplatten in Kombination mit einem Standard-Eisenkernmotor zu verwenden, um eine bessere Bewegungsleistung zu erzielen. In diesem Fall wird der Motor außerhalb des Vakuums platziert und die Magnetplatten innerhalb des Vakuums. Der Luftspalt zwischen den beiden ist größer als normal, was zu einem gewissen Kraftverlust führt. Der Eisenkernmotor außerhalb des Vakuums kann jedoch immer noch mehr Kraft erzeugen als der eisenlose Vakuummotor. Außerdem hat der Eisenkernmotor außerhalb des Vakuums bessere Kühlmöglichkeiten.
In-Vakuum-Transportsystem
Für viele Abscheidungs-, Verdampfungs- und Sputterprozesse wie CVD, PVD und ALD, die auch in der Displayherstellung verwendet werden, ist ein Transport oder eine Bewegung innerhalb des Vakuums erforderlich. Diese Produktionslinien bestehen aus verschiedenen Prozesskammern, in denen die Abscheidungsprozesse stattfinden. Dies erfordert Transportsysteme im Vakuum, die durch Linearmotoren in einer beweglichen Magneten-Konfiguration realisiert werden können.
Bei Tecnotion verfügen wir über Experten, die Sie bei Ihrer Anwendung über die Motorenebene hinaus beraten können, da die Integration solcher Systeme genau auf die Anforderungen abgestimmt werden muss. Neben den Bewegungsanforderungen müssen auch die Umwelt- und Wärmebedingungen berücksichtigt werden, wenn der Raum für die Motorteile durch die physikalischen Grenzen der Vakuumkammern eingeschränkt ist.
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Den richtigen Motor für eine bestimmte Anwendung zu finden, kann eine entmutigende Aufgabe sein. Sie beinhaltet eine große Anzahl miteinander verbundener Designentscheidungen. Das Motor-Simulationstool wurde entwickelt, um Ihnen diesen Prozess so einfach wie möglich zu machen.
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