Kundenspezifische Motoren
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Halbleiter
Steigern Sie den Durchsatz und die Präzision Ihres Systems
Der wichtigste Parameter, der die Bewegung in der Halbleiterindustrie kennzeichnet, ist die hohe Präzision, sei es im Front- oder Back-End. Unabhängig von der Anwendung – Lithographie, Metrologie und Inspektion, Wafer-Handling, Chipmontage – müssen die Tische eine hohe Genauigkeit und Wiederholbarkeit aufweisen, wobei die Anforderungen an den Durchsatz ständig steigen, was zu optimierten Stückkosten und einem optimalen ROI führt. Direkt angetriebene Motoren machen diese Anforderungen möglich. Ob atmosphärische oder Vakuumumgebung, Tecnotion Linear- und Torquemotoren können diese Anforderungen erfüllen.
Eine schnell wachsende Industrie
Mit der zunehmenden Anzahl elektronischer Produkte in der heutigen Gesellschaft steigt der Bedarf an Mikrochips rapide an. Dies führt dazu, dass weltweit immer mehr Fabriken entstehen, die alle die Hightech-Geräte verwenden, die zur Herstellung eines Mikrochips benötigt werden. Die Tecnotion-Direktantriebstechnologie ist in der gesamten Palette der Halbleiteranwendungen zu finden, vom Front-End auf Wafer-Ebene über die Inspektion bis hin zum Pick & Place und der Messtechnik im Back-End.
Lithographie
Die Abbildung genauester Strukturen auf einem Wafer erfordert viele Motoren, um alle beweglichen Teile in der komplexen Maschine auszurichten und zu steuern. Um die Genauigkeit auf Nanometerebene zu gewährleisten, entwickelt Tecnotion zusammen mit seinen Kunden Sonderlösungen, die diesen extremen Anforderungen gerecht werden.
NEU Eisenlose Unano Serie
Minimaler Bauraum. Maximale Leistung.
Designed for when every millimeter matters, but high-performance cannot be compromised.
Messtechnik und Inspektion
Bei der Bearbeitung des Wafers finden viele Kontrollschritte statt. Dies geschieht häufig durch eine Applikation, die durch einen eisenlosen Linearmotor angetriebenen wird, um kritische Abmessungen zu gewährleisten. Eisenlose Linearmotoren sorgen dafür, dass Mess- und Inspektionssysteme bei einer dynamischen Aufgabe genau und präzise sind.
Wafer-Handling
Mehrere Direktantriebsmotoren werden für das Wafer-Handling in Halbleiteranlagen eingesetzt. Torquemotoren werden in Scara-Robotern für das Wafer-Handling eingesetzt, wo die Motoren dafür sorgen, dass der Wafer präzise gedreht oder sicher zur Prozesskammer oder zur nächsten Station transportiert wird. Linearmotoren werden auch für translatorische Bewegungen in Halbleiteranlagen verwendet. Tecnotion bietet sowohl für Cluster- als auch für Inline-Herausforderungen Produkte an.
Back-End-Fertigung
Nach den Verarbeitungsschritten durchläuft der Wafer eine Reihe von Schritten, bevor er zu einem Chip wird. Diese Schritte werden als Back-End-Fertigungsschritte bezeichnet. Zunächst wird der Wafer in einzelne Chips zerschnitten, ein Prozess, der gemeinhin als Wafer-Dicing bezeichnet wird. Dann finden auch das Drahtbonden und die Chipmontage statt, bei denen die Chips mit dem Substrat verbunden werden und viele elektronische Verbindungen entstehen.
Um den Durchsatz so hoch wie möglich zu halten, müssen diese Pick-and-Place-Bewegungen mit sehr hoher Geschwindigkeit und mit Submikrometergenauigkeit erfolgen. Die eisenlosen Motoren von Tecnotion sind aufgrund ihrer geringen Masse und ihrer hohen Genauigkeit perfekt für diese Anwendungen geeignet.
Vakuumbedingungen
Viele Anwendungen in der Halbleiterindustrie finden in einer Vakuumumgebung statt, zum Beispiel in der Elektronik oder im 3C-Markt (Computer, Communication & Consumer Electronics). In einer solchen Umgebung kann ein Standardmotor nicht funktionieren, da er dem niedrigen Luftdruck nicht standhalten kann und die Ausgasung inakzeptabel ist.
Um Bewegungen im Vakuum zu ermöglichen, bietet Tecnotion eine komplette Palette von eisenlosen Vakuummotoren. Diese Motoren sind so konzipiert, dass sie die gewünschte Kraft und Präzision liefern und gleichzeitig eine sehr geringe Ausgasung aufweisen, um Ihre Umgebung sauber zu halten.
Vakuumanwendungen sind in der Regel komplizierter als Nicht-Vakuumanwendungen. Wenden Sie sich an unser Team von Anwendungstechnikern, die Sie bei der Auswahl des richtigen Motors unterstützen und Sie über die Besonderheiten informieren, die Sie in einer Vakuumumgebung erwarten.
Eisenkernmotoren | Katalog | 4.2
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Eisenlose Motoren | Katalog | 1.4
Eisenlose Motoren | Katalog | 1.4
Simulationstool
Den richtigen Motor für eine bestimmte Anwendung zu finden, kann eine entmutigende Aufgabe sein. Das Online Simulationstool wurde entwickelt, um Ihnen diesen Prozess so einfach wie möglich zu machen. Finden Sie den richtigen Motor in nur 4 Schritten.
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