Eisenlose Vakuum-Linearmotoren

Immer mehr Herstellungs- oder Bearbeitungsprozesse finden im Vakuum statt, um das Risko von unerwünschten chemischen Reaktionen oder von Verschmutzungen zu minimieren. Mit dieser Entwicklung steigt auch der Bedarf an vakuumtauglichen Antriebslösungen. Augehend von unseren eisenlosen Linearmotoren haben wir spezielle Vakuum-Motoren für den direkten Einsatz in der Vakuumkammer entwickelt. Weitere Antriebsmöglichkeiten im Vakuum finden Sie unter Sondermotoren.

Diese Spezialmotoren weisen die niedrigsten mit einem Serienprodukt erreichbaren Nennausgasungswerte auf und sind für den Einsatz im Hochvakuum bis 10 ^-8 mBar konstruiert. Die Dauerkräfte der eisenlosen Vakuum-Baureihen reichen von 80N bis 666N, die Spitzenkräfte von 400N bis 4020N.

Einsatzmöglichkeiten ergeben sich unter anderem in folgenden Bereichen

Halbleiterindustrie
Flachbildschirmherstellung
Inspektionsachsen
Lithographie
Elektronen-/Ionen-Beam Applikationen

UXXV-Serie

Spitzenkraft 4020N // Dauerkraft 666N

Der UXXV-Motor ist der stärkste und effizienteste in unserem eisenlosen Vakuum-Portfolio. Trotz der hohen erreichten Kräfte bleibt die Wärmeabgabe dank der hohen Motorkonstante gering. Die UXXV Serie ist ideal für Hochleistungs-Anwendungen, die ultrapräzise und maximale Kraftabgabe verlangen.

ULV-Serie

Spitzenkraft 720N // Dauerkraft 150N

Der Motor ULV ist das High End-Produkt der Linearmotorserie mit Vakuumnennwerten und wird meist für Anwendungen eingesetzt, die Anforderungen an Spitzenkraft oder eine geringe Wärmeabgabe stellen. Bei längeren Hüben können ULV-Spuleneinheiten kombinert werden, um bei gleichbleibend hoher Leistung Magnetmaterial zu sparen.

ULV Vakuum

UMV-Serie

Spitzenkraft 400N // Dauerkraft 80N

Der UMV-Motor ist der kleinste der Linearmotorenserie mit Vakuumnennwerten; sie sind ideal für Positionieraufgaben, beispielsweise in Portalen, oder für sehr dynamische Anwendungen mit wenig bewegter Masse und höchster Genauigkeit geeignet.