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Was ist ein eisenloser Vakuumlinearmotor?

Warum Vakuum und was sind die Herausforderungen dabei?

Immer mehr Unternehmen im High Tech Bereich greifen auf Herstellungsprozesse im Vakuum zurück, um das Risiko von ungewollten chemischen Reaktionen oder von Verschmutzungen zu minimieren. Zu denken ist hier an Applikationen aus den Bereichen Halbleiter, Lithografie oder Elektronen-/Ionenstrahlanwendungen.

Die größte Herausforderung bei Antriebssystemen, die unter Luftabschluss arbeiten sollen, ist die Bewegung selbst sowie die Wartungskosten des Systems in der Vakuumkammer. Außerdem muss die Ausgasung der verbauten Teile so gering wie möglich sein, um die Vakuumpumpe so klein wie möglich halten zu können.

Da Tecnotion über langjährige Erfahrung im Bereich Linearmotoren im Vakuum verfügt, haben wir spezielle eisenlose Vakuumlinearmotoren im Portfolio.

Was ist das Besondere an den eisenlosen Vakuumlinearmotoren?

Die eisenlosen Vakuumlinearmotoren sind eine Weiterentwicklung unserer eisenlosen Standardlinearmotoren und wurden speziell für den direkten Einsatz in der Vakuumkammer designt. Damit können die eisenlosen Vakuumlinearmotoren im Hochvakuum bis 10 -8 mBar eingesetzt werden und weisen die niedrigsten Ausgasungswerte auf, die ein Standardprodukt haben kann: Bei Bedarf können wir Ihnen sogar genaue Daten über die Ausgasung der verschiedenen Stoffe liefern, die wir durch ausführliche Tests gewonnen haben. Außerdem weisen die eisenlosen Vakuumlinearmotoren ein spezielles Design auf, das auf geringen thermischen Widerstand optimiert wurde; so wird gewährleistet, dass entstehende Wärme schnell abgeleitet wird.

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